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ドライポンプ EST200WN-TE
荏原製作所 Ebara 管理番号 TG-25061671
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仕様・詳細
| 機器名 | ドライポンプ |
|---|---|
| メーカー | 荏原製作所 Ebara |
| 型式 | EST200WN-TE |
| 備考 | OverHaul済 |
| 製造番号 | R075272201 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空ポンプ |
| 管理番号 | TG-25061671 |
| 掲載日 | 2026-08-18 |
| 最終取得日 | 2026-08-18 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 排気速度 | 20,000 L/min |
|---|---|
| 排気速度(m³/h表記) | 1,200 m³/h |
| 到達圧力 | 0.4 Pa |
| 到達圧力(mbar表記) | 4×10⁻³ mbar |
| 方式 | 水冷式 多段ドライ真空ポンプ(耐食・粉体対応のハードデューティ仕様) |
| 到達圧力時の消費電力 | 3.2 kW |
| 冷却水量 | 5〜8 L/min |
| N₂パージ流量 | 24〜29 Pa·m³/s |
| 外形寸法(L×W×H) | 1,100×410×922 mm |
| 質量 | 430 kg |
| シリーズ構成 | EST10N(1,000L/min)・EST25N(2,500)・EST100WN(10,000)・EST200WN(20,000)・EST300WN(30,000)・EST500WN(50,000) |
| 主な用途 | HDP-CVD、PECVD、SACVD、LPCVD、MOCVD、ALD、RTP |
出典: ebara-pm.eu
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商品ID: 2269
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