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DC電源 PDC-028
アネルバ ANELVA 管理番号 Z18032086
¥150,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | DC電源 |
|---|---|
| メーカー | アネルバ ANELVA |
| 型式 | PDC-028 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z18032086 |
| 商品NO | 9311（旧サイトの番号） |
| 掲載日 | 2018-05-16 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 種別 | スパッタ用DC電源(高周波スイッチング方式、アーク消弧機能付) |
|---|---|
| 定格出力電圧 | 700(平均値、負極性) V |
| 定格出力電流 | 5.56 A |
| 最大定格出力電力 | 2.5 kW |
| 最大無負荷電圧 | 1200(出荷時1000) V |
| 制御モード | 定電流 / 定電圧 / 定電力 |
| 交流入力 | 三相 180〜242V 50/60Hz、受電容量3.3kVA以上 |
| 力率・効率 | 約90% / 約90%(定格入出力条件) |
| 冷却 | 強制風冷(前面吸気) |
| 外部制御 | 非常停止 J721、リモートコントロール J719、コントローラ外部設置 J712(最長5m)、積算電力出力 J713 |
| 瞬時停電出力保持 | 10 ms |
出典: メーカー資料
ご購入の流れ
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