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圧力コントローラー 600series 651CD2S1N
MKS 管理番号 Z26032610
¥100,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | 圧力コントローラー |
|---|---|
| メーカー | MKS |
| 型式 | 600series 651CD2S1N |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z26032610 |
| 商品NO | 19373（旧サイトの番号） |
| 掲載日 | 2026-07-30 |
| 最終取得日 | 2026-10-14 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 種別 | スロットルバルブ用 セルフチューニング圧力コントローラ(MKS Type 651C) |
|---|---|
| 対応バルブ | MKS 653 / 253 スロットルバルブ(ステッピングモータ駆動) |
| トランスデューサ電源 | ±15VDC ±5 @ 0.5A(90〜99Vまたは180〜198VAC入力時は0.4Aにディレート) |
| アナログ出力 | バルブ開度 0〜5 または 0〜10VDC(0〜100%)、圧力 0〜10VDC(0〜100%FS) |
| セットポイント | 5点(プログラム可能)、プロセスリミットリレー2点 |
| 通信 | RS-232(型番のDから) |
| 機能 | セルフチューニング、ソフトスタート(調整可)、ローカル/リモート ゼロ調整 |
出典: mks.com
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商品ID: 1244
¥100,000
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