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リフトオフ装置 M6000L
KarlSuss 管理番号 Z26011106
¥1,000,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | リフトオフ装置 |
|---|---|
| メーカー | KarlSuss |
| 型式 | M6000L |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 半導体関連 |
| 管理番号 | Z26011106 |
| 商品NO | 18835（旧サイトの番号） |
| 掲載日 | 2026-01-11 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 種別 | 単一ウエハ処理式のメタルリフトオフ装置 |
|---|---|
| メーカー表記 | Karl Süss Vaihingen GmbH(現SUSS MicroTec) |
| 銘板の型式表記 | M6000 LIFT OFF / E-RACK |
| 電源 | 三相208V 50/60Hz 7kVA |
| 対応ウエハサイズ | 4〜6インチ |
| 設置面積(目安) | 約1,200×1,200 mm |
| 対応金属 | 金、タンタル、チタンなど |
| 主な用途 | GaAs・InP・ニオブ酸リチウムの高周波デバイス、光通信デバイスの配線形成、エアブリッジ形成 |
| 周辺構成 | 薬液供給キャビネット、チラー、電源ラック(E-RACK) |
出典: semiconductoronline.com、ircforall.net、compoundsemiconductor.net
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商品ID: 1170
¥1,000,000
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