非接触分光膜厚測定システム
フィルメトリクス 型式 F20-UV 管理番号 AX-001554
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仕様・詳細
| 機器名 | 非接触分光膜厚測定システム |
|---|---|
| メーカー | フィルメトリクス |
| 型式 | F20-UV |
| 仕様 | カテゴリー:検査・分析装置, 膜厚計(膜厚測定装置) / 仕様(日本語):測定波長範囲:190~1100nm 膜厚測定範囲:1nm~40μm 光学定数測定膜厚範囲:50nm以上 正確性:膜厚の±0.2%以内(1nm) 測定精度:0.02nm スポット径:付属ステージ(標準Φ1.5mm、スモールスポットΦ0.1mm) 検出器:1250素子 Siアレイ 光源:重水素・ハロゲンランプ 仕様書有り |
| 数量 | 1 |
| 管理番号 | AX-001554 |
| 掲載日 | 2026-09-07 |
| 最終取得日 | 2026-09-07 |
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商品ID: 10611
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