ターボ分子ポンプ(TMP)
ターボ分子ポンプ STP-300
エドワーズ Edwards 管理番号 MR-9414
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仕様・詳細
| 機器名 | ターボ分子ポンプ |
|---|---|
| メーカー | エドワーズ Edwards |
| 型式 | STP-300 |
| 仕様 | 排気速度:300 L/s 到達圧力:1×10⁻8 Pa 回転数:48,000rpm フランジ形状:ICF152 |
| 数量 | 2 |
| カテゴリー | 真空ポンプ |
| 管理番号 | MR-9414 |
| 掲載日 | 2026-08-29 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様(型式一般)
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 排気速度 | 340 L/s |
|---|---|
| 排気速度(ヘリウム) | 330 L/s |
| 吸気口フランジ | ICF152 |
| 排気口フランジ | KF25 |
| 到達圧力 | 10⁻⁸ オーダー(ICF・ベーク後) Pa |
| 圧縮比(N2) | >1×10⁸ |
| 許容背圧 | 13 Pa |
| 定格回転数 | 48000 rpm |
| 起動時間 | 10 min |
| 冷却方式 | 自然空冷 |
| 推奨補助ポンプ | 240 L/min |
| 質量 | 12 kg |
| 外形寸法(φ×H) | 180×248 mm |
出典: メーカー資料
ご購入の流れ
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