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ターボ分子ポンプ（TMP）
ターボ分子ポンプ TG1003VW／TC1003
大阪真空機器製作所 管理番号 MR-9516
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仕様・詳細
| 機器名 | ターボ分子ポンプ |
|---|---|
| メーカー | 大阪真空機器製作所 |
| 型式 | TG1003VW／TC1003 |
| 仕様 | 排気速度：1000 L/s 到達圧力：1×10⁻6 Pa フランジ形状：VG150 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空ポンプ |
| 管理番号 | MR-9516 |
| 掲載日 | 2026-08-29 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 排気速度 | 1000 L/s |
|---|---|
| 排気速度(水素) | 1000 L/s |
| 吸気口フランジ | VG150 |
| 到達圧力 | <1×10⁻⁶(VG・ISO-B)/ <1×10⁻⁷(CF) Pa |
| 最大圧縮比(N2) | 1×10⁸ |
| 最大ガス流量(N2) | 2715 sccm |
| 許容補助圧力 | 300 Pa |
| 推奨補助ポンプ | 500 L/min |
| 起動時間 | 9〜12 min |
| 潤滑油量 | 260 mL |
| 取付姿勢 | 垂直(±10°) |
| 質量 | 50 kg |
| コントローラ | TC1003 |
出典: メーカー資料
ご購入の流れ
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