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ターボ分子ポンプ（TMP）
ターボ分子ポンプ TMH521／TC600
ファイファー Pfeiffer 管理番号 MR-9835
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仕様・詳細
| 機器名 | ターボ分子ポンプ |
|---|---|
| メーカー | ファイファー Pfeiffer |
| 型式 | TMH521／TC600 |
| 仕様 | 排気速度：520 L/s 到達真空度：<5×10⁻8 Pa DN 160 ISO-K 3P コントローラー、ケーブル 付属 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空ポンプ |
| 管理番号 | MR-9835 |
| 掲載日 | 2026-08-29 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 排気速度 | 510 L/s |
|---|---|
| 排気速度(ヘリウム) | 520 L/s |
| 排気速度(水素) | 450 L/s |
| 排気速度(アルゴン) | 500 L/s |
| 到達圧力 | 1×10⁻⁷ mbar |
| 吸気口フランジ | DN160 ISO-K |
| 排気口フランジ | DN25 ISO-KF |
| 回転数 | 50000 rpm |
| 起動時間 | 5.5 min |
| 最大背圧(窒素) | 13.0 mbar |
| 圧縮比(窒素) | >1×10¹² |
| 冷却方式 | 水冷または空冷 |
| 冷却水量 | 100 L/h |
| 質量 | 13.5 kg |
| 電源電圧 | 72±5% V DC |
出典: idealvac.com
ご購入の流れ
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